Piezo Z-Tisch
Artikelnummer: 00-55-550-0810
Zusatzinformationen
- inkl. Steuerung EBD-060310
- Stellweg: 500 µm
- Auflösung: 5 nm / 31 nm
- Wiederholgenauigkeit: 50 nm
- kompatibel zu nahezu allen Märzhäuser Scanningtischen der SCAN IM-Serie
- direkte Anbindung der Piezo-Steuerung an TANGO-Steuerungen mit AUX I/O
- dynamische Z-Bewegung über Stellwege bis 500 µm
- hochdynamische Scanningabläufe per Triggerfunktionalität realisierbar